UHV-SMOKE(超高真空-表面磁光柯爾效應系統) | |
表面磁光科爾效應量度系統架設下圖所示。在超高真空系統部份,本實驗室使用機械幫浦、 | |
渦輪分子幫浦、鈦昇華幫浦和離子幫浦將真空腔內的壓力維持於 ?torr。在真空腔體外上裝 | |
有(1)離子鎗:用於清潔樣品表面。(2)蒸鍍鎗:用於蒸鍍磁性薄膜,而本實驗室系統所蒸鍍磁 | |
性樣品為鈷(cobalt)。(3)質譜儀:可監測及分析真空腔體內雜質的成分。(4)歐傑電子能譜分析 | |
儀:分析樣品表面原子元素、成分比例、厚度和成長模式。(5)磁光科爾效應儀的雷射、起偏 | |
器、檢偏器與光偵測器元件。在真空腔體內裝有(1)離子真空計:用來量測真空腔體內的壓 | |
力(2)樣品座:樣品座上裝有基材的樣品,而本實驗室系統的基材為銥(iridium)。(3)磁光科爾 | |
效應儀的電磁鐵。 | |
超高真空配置簡圖 |